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  • 半导体行业科益虹源是个什么样的公司 科益虹源的名字并不为产业外的人熟悉,该公司的控股股东是中科院微电子所,持股26.6%,主要业务就是光刻机中的三大核心技术之一的光源系统,是国内第一、全球第三的193nm ArF准分子激光器企业。 

    06-07 2021

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